科普
光罩和集成電路
集成電路是一種微型電子器件或部件。它采用一定的工藝,把一個(gè)電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個(gè)管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)。
光罩是將電路設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)移到晶圓片上的一個(gè)必要轉(zhuǎn)換媒介,由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料。
在集成電路的過(guò)程中,將光罩送至晶圓廠放置于光刻機(jī)臺(tái)中,利用光蝕刻技術(shù),在半導(dǎo)體上形成圖形,為將圖形復(fù)制于晶圓上,必須透過(guò)光罩作用,類似于沖洗照片時(shí),利用底片將影像復(fù)制至相片上,其中把晶圓片比作照片,那么光罩就相當(dāng)于“膠卷底片”,只要光罩存在,就能復(fù)制無(wú)數(shù)的晶圓片。
由于晶圓上的所有芯片皆需要藉由光罩專制,光罩的質(zhì)量必須是零缺陷,線寬的精準(zhǔn)工藝要求以納米為單位。


 
          



