光刻機(jī)到底對(duì)中國(guó)禁不禁售？

物以稀為貴，作為世界上唯一能夠制造EUV光刻機(jī)的廠(chǎng)商，并且產(chǎn)量極低，阿斯麥全部產(chǎn)能早在生產(chǎn)之前就被預(yù)訂一空。根據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》提供的數(shù)據(jù)，今年，臺(tái)積電已經(jīng)向阿斯麥訂購(gòu)接近10臺(tái)EUV光刻機(jī)，三星約為6臺(tái)，英特爾為3臺(tái)。而阿斯麥在4月中旬舉行的財(cái)報(bào)會(huì)議上公開(kāi)稱(chēng)，今年計(jì)劃有20臺(tái)EUV光刻機(jī)交付，但并沒(méi)有說(shuō)明訂單詳情。

由于《瓦森納規(guī)定》的存在，阿斯麥公司接連對(duì)中國(guó)企業(yè)接單，引發(fā)一些質(zhì)疑?！锻呱{協(xié)定》又稱(chēng)瓦森納安排機(jī)制，全稱(chēng)為《關(guān)于常規(guī)武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納協(xié)定》，目前共有包括美國(guó)、日本、英國(guó)、俄羅斯等42個(gè)成員。盡管“瓦森納安排”規(guī)定成員國(guó)自行決定是否發(fā)放敏感產(chǎn)品和技術(shù)的出口許可證，并在自愿基礎(chǔ)上向“瓦森納安排”其他成員通報(bào)有關(guān)信息。但“安排”實(shí)際上完全受美國(guó)控制。而中國(guó)、朝鮮、伊朗、利比亞等國(guó)均在被限制國(guó)家名單之中。當(dāng)“瓦森納安排”某一國(guó)家擬向中國(guó)出口某項(xiàng)高科技技術(shù)時(shí)，美國(guó)甚至直接出面干涉，如捷克擬向中國(guó)出口“無(wú)源雷達(dá)設(shè)備”時(shí)，美便向捷克施加壓力，迫使捷克停止這項(xiàng)交易。

此前曾有一種說(shuō)法，認(rèn)為最高端的光刻機(jī)技術(shù)受到《瓦森納協(xié)定》影響，被禁止向中國(guó)大陸出售。然而，阿斯麥公司發(fā)言人則對(duì)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》表示，該企業(yè)對(duì)包括中國(guó)客戶(hù)在內(nèi)的全球客戶(hù)都一視同仁。而且，向中國(guó)出售EUV光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》。

事實(shí)上，從中芯國(guó)際的官網(wǎng)可以了解到，中芯國(guó)際早在2014年10月27日，已經(jīng)與阿麥斯公司簽訂過(guò)一份光刻設(shè)備批量購(gòu)買(mǎi)協(xié)議。這份批量購(gòu)買(mǎi)訂單價(jià)值近4.5億歐元。阿斯麥總裁兼CEO彼得·溫尼克（Peter Wennink）在當(dāng)時(shí)就表示：“中國(guó)對(duì)我們來(lái)說(shuō)，是很重要的市場(chǎng)。通過(guò)這個(gè)協(xié)議，我們希望能在中國(guó)客戶(hù)中增加市場(chǎng)份額，占穩(wěn)一席之地。”

2017年10月，阿斯麥中國(guó)區(qū)總裁金泳璇在接受臺(tái)灣《電子時(shí)報(bào)》的采訪(fǎng)時(shí)也表示，阿斯麥對(duì)大陸芯片廠(chǎng)與國(guó)際客戶(hù)一視同仁，只要客戶(hù)下單，EUV要進(jìn)口到中國(guó)完全沒(méi)有任何問(wèn)題。在交期方面，所有客戶(hù)也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個(gè)月。金泳璇當(dāng)時(shí)就曾透露，目前已有大陸芯片廠(chǎng)巨頭與阿斯麥展開(kāi)7納米工藝制程的EUV訂單洽談，2019年大陸首臺(tái)EUV可望落地。而這對(duì)中國(guó)芯片廠(chǎng)來(lái)說(shuō)無(wú)疑是一個(gè)好消息。

臺(tái)灣“中央社”稱(chēng)，從2019年半導(dǎo)體芯片將進(jìn)入7納米時(shí)代開(kāi)始（現(xiàn)在處于10納米時(shí)代），EUV光刻機(jī)可以被稱(chēng)為戰(zhàn)略性設(shè)備，沒(méi)有它就會(huì)使芯片制造寸步難行。

阿斯麥公司生產(chǎn)的光刻機(jī)。（阿斯麥官網(wǎng)）