5月19日,長江存儲終于盼來了自己的首臺光刻機。當天中午,這臺價值7200萬美元、比黃金還金貴的設備,運抵了武漢天河機場。這臺來自全球最大的芯片設備制造商——荷蘭阿斯麥公司(ASML)的大家伙的到來,被外界看做中國芯片技術的重要突破。
好消息不止一個。就在幾天前,據(jù)《日經(jīng)亞洲評論》15日援引消息人士的話稱,中國芯片加工企業(yè)中芯國際(SMIC)也與同一家企業(yè)——荷蘭阿斯麥公司訂購了其首臺最先進的EUV(極紫外線)光刻機,價值1.2億美元。消息稱,這臺幾乎相當于中芯國際去年全部凈利潤的設備,將于2019年初交付。

5月19日,長江存儲首臺光刻機運抵武漢天河機場。
光刻機為何物?
光刻機為何物?為何如此金貴?
香港《明報》5月22日報道稱,光刻機(又稱曝光機)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設備,其作用是掃描曝光芯片晶圓,刻蝕集成電路。制造和維護需要高度的光學和電子工業(yè)基礎,世界上只有少數(shù)廠家掌握。因此光刻機的價格昂貴,通常在3000萬至5億美元不等。目前,雖然尼康、佳能等對手都在勉力競爭,但是自飛利浦獨立的阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機市場份額。精度愈高的光刻機,能生產(chǎn)出納米尺寸愈小、功能更強大的芯片。
世界最新最先進的兩代高端光刻機領域,即浸入式(Immersion)和極紫外線式(EUV)光刻機,全部由阿斯麥掌握核心技術。報道稱,小于5納米的芯片晶圓,目前只能用EUV光刻機生產(chǎn)。三星電子和臺積電目前正競爭生產(chǎn)7納米工藝技術芯片,這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機。目前,蘋果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器芯片,采用的是臺積電10納米工藝技術,而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術。
由此可知,擁有光刻機對芯片工藝的實現(xiàn)有著決定性的影響。

荷蘭阿斯麥公司廠區(qū)。(法新社)

