“排雷”專家

　　臺海網(wǎng)5月23日訊 據(jù)福建日報報道，“五一”假期剛過，福建省福聯(lián)集成電路有限公司（以下簡稱“福聯(lián)公司”）蝕刻工程部課長張永宏就投入到PHEMT(砷化鎵贗配高電子遷移率晶體管)等新產(chǎn)品的研發(fā)調(diào)試中。此前幾天，他剛成為我省首批臺籍勞模的一員。

　　兩年前，張永宏從臺灣來到福聯(lián)公司工作。這是一家成立于2015年的新公司，專注于第二代與第三代半導(dǎo)體芯片制造的晶圓專工服務(wù)。初創(chuàng)階段，從設(shè)備調(diào)試到生產(chǎn)機(jī)臺的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程，一切都得從零開始。作為蝕刻工程部課長，張永宏一上任，就著手逐步完成包括干蝕刻制程、濕蝕刻制程及清洗制程的參數(shù)設(shè)定及調(diào)整等80余項。同時，他還建立了生產(chǎn)機(jī)臺標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程、機(jī)臺測機(jī)項目流程共20余項。“制定流程、標(biāo)準(zhǔn)，并對蝕刻率、均勻性、顆粒增量等進(jìn)行監(jiān)控，是為了機(jī)臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性，從而確保產(chǎn)品質(zhì)量。”張永宏告訴記者，由于工作量大，新來的工程師還未上手，并且很多實驗和工序又必須不間斷地做完，所以，在公司成立初期，加班加點是常態(tài)。有大半年時間，他的生活就是廠房和宿舍兩點一線。

　　2017年，福聯(lián)集成電路試生產(chǎn)?？吹降谝慌酒瑥纳a(chǎn)線上出來，張永宏長長舒了一口氣。不過，搞技術(shù)的人都知道，這只是“萬里長征的第一步”。異常處理改善及優(yōu)化是蝕刻工程師隨時需要處理的問題。當(dāng)產(chǎn)品異常發(fā)生時，張永宏和他的團(tuán)隊會通過顯微鏡、特性因素圖等分析原因，再經(jīng)過實驗測試達(dá)到異常改善的目的，借此達(dá)到品質(zhì)優(yōu)化的目標(biāo)。前不久，多批芯片出現(xiàn)電性異常的情況，張永宏馬上采用掃描式電子顯微鏡進(jìn)行掃描分析，找到異常站點，最終發(fā)現(xiàn)原來是工藝參數(shù)設(shè)置不當(dāng)造成金屬連結(jié)問題，從而導(dǎo)致電性結(jié)果異常。他經(jīng)過反復(fù)調(diào)試，終于確定正確參數(shù)，并重新導(dǎo)入生產(chǎn)線，確保芯片的順利生產(chǎn)。

　　“我們生產(chǎn)部門只要遇到問題都會找張永宏幫忙分析解決。”福聯(lián)公司制造處經(jīng)理劉志鋼告訴記者，無論是藥液、氣體還是機(jī)臺內(nèi)部原因，都有可能引起芯片生產(chǎn)異常，甚至導(dǎo)致芯片整批報廢，因此，蝕刻工程部的異常處理改善及優(yōu)化職能對芯片生產(chǎn)至關(guān)重要。而每次做芯片異常分析，張永宏都會把異常點在顯微鏡下放大拍照，留下圖片資料分享給同事，并主動到生產(chǎn)部門詳細(xì)講解異常產(chǎn)生的原因和解決辦法。這不僅有效規(guī)避了問題再次發(fā)生，而且也大大提高了工作效率。

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